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                        雙通道ALD管式爐系統
                      
                    
          
                    
          
                      
                    
          
                    
          
                      ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質子流量計控制系統。該管式爐系統簡潔的設計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現ALD工藝實驗。 
                    
          
                  
          
                
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